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SEM-XPS-SIMS >

扫描电镜-拉曼光谱联用可以对样品进行微区原位分析，实现对样品的系统性分析测试。鉴于可以从同一点采集扫描电镜数据与拉曼光谱数据，能够对样品表面形貌和物质分子结构的关系进行快速直观的表征。以SEM图像为基础，可以更准确地对样品选择测试区域进行快速、无损的物质成分分析，得到准确的样品组成数据。 >

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